型号 x62 305-2型抛光机 品牌 风雷 电源电压 380v 抛光轮直径 φ820（mm） 重量 约3000（kg） 适用范围 用于直径100mm以下的硅片、锗片、化、铌酸锂、蓝宝石等片状材料的单面高精度抛光加工。 一、 设备用途 本机适用于直径 100mm 以下的硅片、锗片、化、铌酸锂、蓝宝石等片状材料的单面高精度抛光加工。 二、主要特点 ø 该 设备采用了四个抛光头主动驱动方式，变频调速，设备运转平稳、使用可靠、操作方便。 ø 主抛光盘旋转采用变频调速，机器起动、停止平稳。 ø 主抛盘采用水冷方式，冷却方式的内部结构做了明显的改进。 ø 主抛盘采用红外测温、控温装置。 ø 抛光过程分三个阶段（三阶段时间控制自动切换）。 （ 1 ）阶段一（轻抛）：通抛光液，工作压力抛光头自重减去反压压力。 （ 2 ）阶段二（主抛）：通抛光液，工作压力为抛光头自重加正压压力减去反压压力。 （ 3 ）阶段三（水抛）：通去离子水，抛光压力与阶段一相同。 ø 配有冲洗开关喷头。 ø 承片盘为氧化铝陶瓷。 ø 抛光头升、降及正反压采用主令开关控制电磁阀和精密减压阀调节控制，且四个抛光头分别控制。 ø 主传动传动采用了住友的蜗轮蜗杆减速箱，四个抛光头传动采用了四个住友减速电机驱动。 三、设备基本参数 : l 下抛光盘直径 φ 820mm l 承片盘直径 φ 305mm l 抛光头数量 4 l 气缸直径 φ 140mm l 抛光头升降行程 180mm l 抛光头自重 { 包括活塞、活塞杆、承片盘 } 约 53kg l 气缸工作时气压调整范围 0--0.15mpa l 红外测温仪控温范围 0-100 ℃ l 抛光过程各阶段时间设定范围： 阶段一（轻抛） 0---9999s 阶段二（主抛） 0---9999s 阶段三（水抛） 0---9999s l 抛光件大直径 φ 300mm l 抛光硅片适合直径 φ 50- φ 100mm l 主电机 11kw 380v 50hz l 液泵电机 370w l 抛光头驱动电机 4x0.75kw l 下抛光盘转速 0-80rpm （调频调速） l 抛光头转速 0-63rpm （调频调速） l 电源 三相 380v ± 10 % 。 l 设备外型尺寸 1950x1150x2150mm l 设备重量 约 3000kg 三、加工能力 单头承片量： 5 片 (4 〃 ) 8 片 (3 〃 ) 整盘承片量： 20 片 (4 〃 ) 32 片 (3 〃 )