型号 x62 1355b-1型抛光机 品牌 风雷 电源电压 380v 抛光轮直径 φ1380（mm） 重量 约7000（kg） 适用范围 石英晶片、宝石片、玻璃、陶瓷片及其它硬脆材料 产品用途： 本机主要适用于 6 英寸 以下硅片双面精密抛光加工，同时用于石英晶片、宝石片、玻璃、陶瓷片及其它硬脆材料的双面抛光加工。 主要特点： 1. 变频器配合异步电机拖动，实现了软启动，软停止，调速稳定，冲击小。 2. 采用三电机同步拖动，变速范围更广，能适应不同抛光材料及抛光工艺的要求。 3. 太阳轮与内齿圈同步抬升，满足了取放工件及调整游轮啮合位置的要求。 4. 上、下抛光盘采用斜齿轮传动，运转平稳。 5. 采用 plc 控制，压力采用电—气比例阀与拉力传感器实现了闭环反馈控制，压力过程实现了线形转换。 6. 应用人机界面（ pt ）显示与 plc 控制，一方面显示运行参数，另一方面通过其触摸键调整设定各项工艺参数，主操作由普通键钮完成。 7. 采用集中润滑装置，各相对运动表面、齿轮啮合部位、链轮都可得到充分润滑，大大提高了整机的使用寿命。 8. 上盘采用新的“浮动”连接装置，解决了错盘问题。 主要技术参数： 1 ．抛光盘尺寸： φ 1380mm × φ 433mm ×50mm 2 ．游轮参数： z=170 m=3 3 ．游轮数量： 5 片 4 ．大抛光直径： φ 410mm 5 ．小抛光厚度： 0.50mm 6 ．大抛光厚度： 30mm 7 ．下抛光盘转速： 0-60rpm 8 ．主电机： 18.5kw 380v 1450rpm 9 ．太阳轮电机： 2.2kw 380v 1440rpm 10 ．内齿圈电机： 5.5kw 380v 1440rpm 11. 气源： 0.5~0.6mpa 12 ． 外形尺寸（长×宽×高）： 2650mm ×1920mm×2770mm 13 ．质量： 约 7000kg 主机精度： 1. 下抛光盘端跳： 0.08mm 2. 上下抛光盘平面度： 0.02mm 3. 太阳轮径向跳动： 0.10mm 4. 齿圈径向跳动： 0.18mm 加工精度（四个修正轮修研后）： 1. 一致性： 0.008 mm 2. 平面度： 0.004 mm 3. 平行度： 0.006 mm 加工能力： 1. 单片承片量： 6 片 / φ 150mm 8 片 / φ 125mm 2. 整盘承片量： 30 片 / φ 150mm 40 片 / φ 125mm