型号 x62 815-1型单面抛光机 品牌 风雷 电源电压 380v 抛光轮直径 φ815(mm) 重量 约1800(kg) 产品用途 本机适用于直径 100mm 以下铌酸锂片、硅片、锗片、化片的单面抛光。也可用于其它片状材料的单面抛光。 主要特点 1. 主传动变频调速,起、停平稳,全程无级平滑调速。 2. 主抛盘循环水冷却,使用远红外测温仪控制抛盘温度。 3. 设备有四个抛光头,每个抛光头均能单独升、降。每个抛光头内设有循环冷却水,保证盘面不受热变形,同时可修正加工件的翘曲度。 4. 抛光过程分三个阶段 ( 三阶段时间控制自动转换 ) 阶段 1 :通抛光液,抛光压力为抛光自重。 阶段 2 :通抛光液,抛光压力为抛光自重加气缸压力 . 阶段 3 :通去离子水,抛光压力为抛光自重。 5. 配高压冲洗喷头。 6. 主要气动、电气配套件均为国外品牌产品。 主要技术参数: 1. 抛光盘直径: φ 815mm 2. 粘片盘直径 ( 外径 × 厚度 ) : φ 305mm×20mm 3. 抛光盘端面跳动量:≤ 0.06mm 4. 抛光盘平面度:≤ 0.025mm 5. 主电机: 7.5kw 380v 1450rpm 6. 小抛光厚度: 0.20mm 7. 抛光头升降行程: 240mm 8. 大抛光件规格: 200mm 9. 抛光件表面平面度: ≤ 0.002mm( φ 75mm) 10 . 加工件厚度一致性:± 0.004mm( φ 75mm) 11 . 单头承片量: 5 片 /4 / 6 片 /3 / 整盘承片量: 20 片 /4 / 24 片 /3 / 12. 设备外形尺寸 ( 长 × 宽 × 高 ) : 1100mm×2000mm×1750mm 13.设备质量:约 1800kg
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