型号 x62 1300b-1型数控精密抛光机 品牌 风雷 电源电压 380v 抛光轮直径 1313（mm） 重量 约8000（kg） 适用范围 硅片、化片、陶瓷片、石英晶体、光电玻璃及其他硬脆材料 产品用途： 该机主要用于硅片、化片、陶瓷片、石英晶体、光电玻璃及其他硬脆材料的双面高精度抛光。 主要特点： 1. 采用三个伺服电机同步拖动，变速范围更广，运动精度更高，响应速度更快，能适应不同抛光材料及抛光工艺的要求，实现了软启动、软停止，调速稳定，冲击小； 2. 太阳轮与内齿圈同步抬升，满足了取放工件及调整游轮啮合位置的要求； 3. 下抛盘主轴采用交叉滚子轴承支撑，既可承受轴向力、径向力，又可克服倾覆力矩，保证了下抛盘的静态和动态的精度； 4. 上下抛光盘采用斜齿轮传动，运转平稳； 5. 可灵活的选配双电机、三电机、四电机（标配）拖动； 6. 压力采用电 — 气比例阀与拉力传感器闭环反馈控制， 小加压 2kgf 压力过程实现了线性转换，压力控制精度± 2kgf ； 7. 采用集中润滑装置，各相对运动表面、齿轮啮合部位都可得到充分润滑，大大提高了整机的使用寿命； 8. 上盘采用新的 “ 浮动 ” 连接装置，解决了错盘问题； 9 ．该机具有防粘片装置，特殊的水路设计即可用来冲片防止粘盘，又可通冷却水用来冷却抛盘； 10. 该机可存储 20 套工艺参数 , 每套工艺可设 20 步工序，以方便多种产品规格的切换加工使用； 11 ． 结合伺服电机拖动，实现了游星轮自动定位复位 。 技术参数： 1. 抛光盘尺寸： 公制 φ1313 mm×φ757mm×50mm 2. 游轮参数：公制：齿数 z=100 模数： m=3 英制：齿数 z ＝ 144 模数 dp12 3. 游轮数量： 10 片 4. 小抛光厚度： 0.30mm 5. 大抛光厚度： 30mm 6. 下抛光盘转速 : 0 ～ 60rpm 7. 上 / 下抛光盘驱动电机： 7.5/15kwac380v1460rpm 8. 齿圈驱动电机 4kwac380v1420rpm 9. 太阳轮驱动电机： 2.2kwac380v1410rpm 10. 气源： 0.5 ～ 0.6mpa 11. 外形尺寸（长 × 宽 × 高）： 2328mm ×1608mm×3190mm 12. 重量： 约 8000kg 精度指标： 一、主机精度： 1. 下抛光盘端跳 : 0.04mm 2. 上下抛光盘平面度： 0.015mm 3. 太阳轮径向跳动： 0.08mm 4. 齿圈径向跳动： 0.15mm 二、加工精度（修平器修研后） 1. 一致性 0.008mm 2. 平面度 0.004mm 3. 平行度 0.005mm